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超精密加工设备变为工业界常见的生产机器设备，许多公司，甚至是小公司也纷纷推出量产型设备。此外，设备精度也逐渐接近纳米级水平，加工行程变得更大，加工应用也逐渐增广，除了金刚石车床和超精密研磨外，超精密五轴铣削和飞切技术也被开发出来，并且可以加工非轴对称非球面的光学镜片。

超精密加工机的需求急剧增加，在工业界的应用包括非球面光学镜片、Fresnel镜片、超精密模具、磁盘驱动器磁头、磁盘基板加工、半导体晶片切割等。在这一时期，超精密加工设备的相关技术，例如控制器、激光干涉仪、空气轴承精密主轴、空气轴承导轨、油承导轨、摩擦驱动进给轴也逐渐成熟。

传统的机械加工方法(普通加工)与精密和超精密加工方法一样。随着新技术、新工艺、新设备以及新的测试技术和仪器的采用，其加工精度都在不断地提高。精加工的进给路线基本上都是沿其零件轮廓顺序进行的，因此，确定进给路线的工作***是确定粗加工及空行程的进给路线。在数控车床加工中，加工路线的确定一般要遵循以下几方面原则。一、应能保证被加工工件的精度和表面粗糙度。二、使加工路线，减少空行程时间，提高加工效率。三、尽量简化数值计算的工作量，简化加工程序。四、对于某些重复使用的程序，应使用子程序。

机械工作时，禁止将手伸入滑块工作区，严禁用手取、放工件。在冲模内取、放工件时必须使用符合标准的工具。如发现机械有异常声音或机器失灵，应立即关闭电源开关进行检查。机械开动后，由一人运料及机械操作，其他人不得按动电建或脚踩脚踏开关板，更不能将手放入机械工作区或用手触动机械的运动部分。