超精密加工技术不断更新，加工精度不断提高，各国之间的研究侧***有所不同，但促进超精密加工发展的因素在本质上是相同的。加工变质层的化学性质活泼，易受腐蚀，所以从提高零件耐腐蚀能力的角度出发，要求加工产生的变质层尽量小。加工系统的系统误差和随机误差都应控制在 0.1微米级或更小。这些条件是靠综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统和计算机控制等各种***技术获得的。

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超精密切削加工主要有超精密车削、镜面磨削和研磨等。在超精密车床上用经过精细研磨的单晶金刚石车刀进行微量车削,切削厚度仅1微米左右，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等精度、表面高度光洁的零件。例如加工核聚变装置用的直径为800毫米的非球面反射镜，精度可达0.1微米，表面粗糙度为Rz0.05微米。

超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他***技术。工件材质必须极为细致均匀，并经适当处理以消除内部残余应力,保证高度的尺寸稳定性,防止加工后发生变形。

应用CNC零件加工中心的空运转功用能够检查走刀轨迹的正确性。当程序输入CNC零件加工中心后，能够装上刀具或工件，然后按下空运转按钮，此时主轴不转，工作台按程序轨迹自动运转，此时便能够发现刀具能否有可能与工件或夹具相碰。但是，在这种状况下必需要保证装有工件时，不能装刀具;装刀具时，就不能装工件，否则会发作碰撞。