?真空镀膜加工真空镀膜

　真空镀膜加工已有200年的历史。在19世纪可以说一直是处于探索和预研阶段。探索者的艰辛在此期间得到充分体现。1805年， 开始研究接触角与表面能的关系(Young)。1817年， 透镜上形成减反射膜(Fraunhofer)。1839年， 开始研究电弧蒸发(Hare)。开始研究真空溅射镀膜(Grove；Pulker)。1857年， 在氮气中蒸发金属丝形成薄膜(Faraday；Conn)。 1874年，真空镀膜， 报道制成等离子体聚合物(Dewilde；Thenard)。1877年，五金真空镀膜，薄膜的真空溅射沉积研究成功(Wright)。1880年， 碳氢化合物气相热解(Sawyer；Mann)。1887年， 薄膜的真空蒸发(坩埚) (Nahrwold；Pohl；Pringsheim)。开始研制形成减反射膜的化学工艺。研究成功四氯化钨的氢还原法(CVD)； 膜厚的光学干涉测量法(Wiener)。

对于真空镀膜加工单片膜色不均匀产生的原因

主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。?

另外镜片被镜圈（）边缘部遮挡、镜圈（）脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。?

改善思路：改善镜片边缘的蒸发角。

改善对策：?

㈠?条件许可，真空镀膜加工，用行星夹具；?

㈡?选用伞片平坦（R大）的机台；?

㈢?根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。?

㈣?如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。?㈤?改善镜圈（），防止遮挡。?

㈥?注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡?㈦?清洁镜圈（）?㈧?改善膜料蒸发状况。

真空镀膜加工技术的一般术语及工艺

2.1.8激光束蒸发：通过激光束加热蒸发材料的蒸发。

2.1.9间接加热的蒸发：在加热装置(例如小舟形蒸发器，坩埚，灯丝，加热板，真空镀膜厂家，加热棒，螺旋线圈等)中使蒸发材料获得蒸发所须的热量并通过热传导或热辐射方式传递给蒸发材料的蒸发。

2.1.10闪蒸：将很少量的蒸发材料间断地做瞬时的蒸发。

2.2真空溅射：在真空中，惰性气体离子从靶表面上轰击出原子（分子）或原子团的过程。

2.2.1反应性真空溅射：通过与气体的反应获得理想化学成分的膜层材料的真空溅射。

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