pvd真空镀膜加工厂常用解决方案
作者:泰坦金属2020/8/8 22:15:37






由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜,在大气环境下调变补偿调节机构,

使反射光束进入自准直仪接收视场,记录两维角度偏差。真空镀膜加工

按有限元计算的真空状态下的补偿量再次调整,显然,此时的反射光束已远离自准直仪接收视场,但一旦真空室进入真空状态,

反射光束又重新进入自准直仪的接收视场,记录此时的两维角度偏差。前后两次显示的两维角度偏差基本吻合。




  真空镀膜的功能是多方面的,这也决定了其应用场合非常丰富。总体来说,真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果,在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能,提供优异的电磁屏蔽和导电效果。


真空镀膜则是相对于上述的湿式镀膜方法而发展起来的一种新型镀膜技术,通常称为干式镀膜技术。

众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。




对于真空镀膜加工单片膜色不均匀产生的原因

主要是由于基片凹凸严重,与伞片曲率差异较大,基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大,形成的膜厚差异大。?

另外镜片被镜圈()边缘部遮挡、镜圈()脏在蒸镀时污染镜片等等也会造成膜色差异问题。?

改善思路:改善镜片边缘的蒸发角。

改善对策:?

㈠?条件许可,用行星夹具;?

㈡?选用伞片平坦(R大)的机台;?

㈢?根据伞片孔位分布,基片形状,制作专门的锯齿形修正板。?

㈣?如果有可能,把蒸发源往真空室中间移动,也可改善单片的膜色均匀性。?㈤?改善镜圈(),防止遮挡。?

㈥?注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡?㈦?清洁镜圈()?㈧?改善膜料蒸发状况。





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