真空镀膜的方法很多，计有：

(1)真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。

(2)阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，金属真空镀膜厂，把惰性气体(如)通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3Pa，金属真空镀膜厂家，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。

(3)化学气相沉积：通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，获得沉积薄膜的过程。

(4)离子镀：实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合，兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。

真空镀膜基础知识

　　一，镀膜作业步骤:

　　准备工作

　　1.镀膜前洗净

　　2.抽检镜片外观确认(裂边，伤痕，不洁)情况，全检镜片锁板情况(镜片倾斜，

　　3.确认好准备镀膜的镜片(数量，机种，金属真空镀膜，面别)并做好相应记录

　　4.上伞，

　　将镜片从包装盒内装到镀膜机台伞架上(主意带手套拿取镀膜板四周，勿碰到镜片

　　5.区分需要镀膜镜片种类面别

　　6.清洁坩埚电子枪周围用铜刷刷，吸，并添加***

　　7.确认晶振片，监控片是否OK在新的位置

　　8.确认机台内无杂物，后关门排气加热

　　9.镀膜

　　选取相应的制程

　　10.人员镀膜过程中进行监控

　　11.下伞

　　将镀膜后的镜片从伞架取下，放入包装盒

　　12.抽检

　　主要为膜点，雾状，颜色异常，不洁

　　13.光谱测量

　　采用奥林巴斯反射测定仪和U4100分光光度计

　　14.伞架每圈抽1PCS共5圈

　　15.膜强度测试(采用3M胶带粘拉膜3次)

　　16.光谱量测OK后可送出

真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、真空束流沉积、化学气相沉积等多种方法。除化学气相沉积法外，其他几种方法均具有以下的共同特点：

(1)各种镀膜技术都需要一个特定的真空环境，以保证制膜材料在加热蒸发或溅射过程中所形成蒸气分子的运动，不致受到大气中大量气体分子的碰撞、阻挡和干扰，并消除大气中杂质的不良影响。

(2)各种镀膜技术都需要有一个蒸发源或靶子，以便把蒸发制膜的材料转化成气体。由于源或靶的不断改进，大大扩大了制膜材料的选用范围，无论是金属、金属合金、金属间化合物、陶瓷或有机物质，都可以蒸镀各种金属膜和介质膜，而且还可以同时蒸镀不同材料而得到多层膜。

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