物***相沉积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射范围宽、可沉积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点。真空镀膜技术一般分为两大类，即物***相沉积（PVD）技术和化学气相沉积（CVD）技术。同时，物***相沉积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下，因此可作为***终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。由于采用物***相沉积工艺可大幅度提高刀具的切削性能，人们在竞相开发高i性能、高可靠性设备的同时，也对其应用领域的扩展，尤其是在高速钢、硬质合金和陶瓷类刀具中的应用进行了更加深入的研究。

3.晶格有序度的均匀性：

这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的热点问题，具体见下。

主要分类有两个大种类：

蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜，具体则包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，溶胶凝胶法等等

一、对于蒸发镀膜：

一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

真空镀膜技术的发展与真空镀膜油的开发成功是密不可分的。在各种不一样的电镀液中，金属镀层的布局特性也是不一样的，主要是堆积进程不一样所造成的。从某种意义上,我们甚至可以说，没有真空镀膜油就没有真空镀膜。这是由真空镀膜油的作用所决定的。在真空镀膜的过程中，镀膜油起着牢固粘结镀件与金属膜的作用（即作为镀件的底涂层）；真空镀膜后，须在镀件表面涂上一层镀膜油，这时该油又起着保护金属膜、染色等作用（即作为镀件的面涂层）。大部份材料在进行镀膜之前，都必须在镀件表面涂上一层薄薄的镀膜油，彻底干燥之后再行镀膜，否则，镀上的金属膜极易脱落，轻轻用手即可擦掉。真空镀膜过程中，镀膜质量的好坏很大程度上取决于底涂层的质量。