广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦分子泵;
分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,安捷伦分子泵销售中心,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。安捷伦分子泵
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光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护***必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全世界仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,安捷伦分子泵维修中心,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,珠海安捷伦分子泵,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。(注:皮秒激光=兆分之一秒)安捷伦分子泵
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有安全防护网维护,为何还会继续有块状玻璃渣落入泵内?
缘故:安全防护网裂开,前面管路裂开。
解决方案:优化软件设计方案。安捷伦分子泵
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真空值非常好的状况下,分子泵油为什么会退到前面管路?
缘故:油池裂开或密封性欠佳。
解决方案:查验油池。安捷伦分子泵
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有防护网保护,安捷伦分子泵维修公司,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?
原因:防护网,前级管道
解决方法:优化系统设计
真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?
原因:油池或密封不良
解决方法:检查油池
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轴承装配不良
处理方法:按要求检查轴承装配情况,消除不合要求因素;
冷却水断路
处理方法:检查、修理;
轴承磨损或松动
处理方法:修理轴承或报废。
若松协,复紧有关螺栓;泵轴弯曲
处理方法:矫正泵轴;
甩油环变形,甩油环不能转动,带不上油
处理方法:更新甩油环;
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