广州帕纳光电科技有限公司----瓦里安分子泵维修；

当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵；升级完成的安捷伦生产流程管理系统，和新增的大量自动化生产装配工艺和设备，保证了产品的一致性，和质量的稳定性。

工作条件

　　（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。

　　（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。

分子泵特点

　　油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

　　脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

　　全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

20世纪70年代末开始，人们对真空装置提出更高的要求，既除了能获得高真空之外，还需要能够在排气之后导入各种各样的气体，并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求，涡轮分子泵逐渐推广普及。随着材料科学的发展，分子泵转子材料也发生了变化，可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成，这使转子的转速得到进一步提高。

在高真空或超高真空范围的应用中，比如分析仪器中的质谱/光谱、真空镀膜、真空冶金、半导体技术等，分子泵经常用于获得所需真空度，瓦里安分子泵维修高品质的无油隔膜泵可以获得分子泵（带分子拖动级）所需的前置真空，能够明显地改善所获得真空的清洁度，在许多情况下，这种无油的清洁真空是必须的。原因：附近有光照或其他热源解决方法：避免光照或热源2、分子泵使用中发现油发黑，请问油为什么发黑。

3、选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

4、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。

5、分子泵入口应装设防护网，以避免***进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

后感谢李同学对此知识点的总结，喜欢的朋友麻烦点个订阅哟！

电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。

锁母锁紧过度只会导致轴间垫过早失效，相反适度锁紧锁母，使轴间垫始终保持一定的压缩弹性，在运转中锁母会自动适时锁紧，使轴间始终处于良好的密封状态。

新的比旧的好。相对而言，使用新机械密封的效果好于旧的，但新机械密封的质量或材质选择不当时，配合尺寸误差较大会影响密封效果；二是增大了动环轴向调整、移动的阻力，在工况变化频繁时无法适时进行调整。在聚合性和渗透性介质中，静环如无过度磨损，还是不更换为好。因为静环在静环座中长时间处于静止状态，使聚合物和杂质沉积为一体，起到了较好的密封作用。