广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵销售维修中心；

牵引分子泵的优点是启动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸气，特别适于抽除较重的气体。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。但由于牵引分子泵抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障，而且制造困难，实际上很少应用。后来对牵引分子泵进行了改进，出现了涡轮分子泵。

当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵；

当分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作；

当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。

1912年，德国人W.Gaede发明了世界上台分子泵，它的转子直径为50mm，转子上切有8个尺寸不同的槽，转速为12 000r/min，抽速约为1.5L/s。这种泵的工作原理与现代分子泵的工作原理一致，但由于故障多很快被淘汰，未能普及。

1.分析(质谱分析、电子显微镜等)

2.半导体(电子组件、集成电路、柔性太阳能电池等)

3.光学/玻璃(热保护,增透、反射、光学滤光膜)

4.镀膜(表面保护，装饰涂料，显示器，屏幕)

5.真空冶金(真空炉、真空钎焊、真空烧结、真空合金、)

6.泄漏检测(真空系统、车辆的油箱,安全气囊

7.研究实验(***成像、核粒子物理，核聚变研究，激光应用和许多更多)

涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。

新设计了***和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。随着材料科学的发展，分子泵转子材料也发生了变化，可用硬铝合金、碳纤维、钛合金等高硬度材料制成，这使转子的转速得到进一步提高。

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

轴承装配不良

处理方法：按要求检查轴承装配情况，消除不合要求因素；

冷却水断路

处理方法：检查、修理；

轴承磨损或松动

处理方法：修理轴承或报废。

若松协，复紧有关螺栓；泵轴弯曲

处理方法：矫正泵轴；

甩油环变形，甩油环不能转动，带不上油

处理方法：更新甩油环；