广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN TV301分子泵；

泵排液后中断吸入管路漏气

处理方法：检查吸入侧管道连接处及填料函密封情况；

灌泵时吸入侧气体未排完

处理方法：要求重新灌泵；

吸入侧突然被***堵住

处理方法：停泵处理***；

吸入大量气体

处理方法：检查吸入口有否旋涡，淹没深度是否太浅。

1.隔膜泵的极限真空足以满足高真空泵的前级耐压需求 ,用VARIAN TV301分子泵时，真空达0.3mbar；

2.即使真空度接近极限真空时，仍有很大的抽速；；

3.低能量消耗；

4低的反倒吸漏率，在断电时不会放气；

5.高稳定性，为持续操作而设计（24h/7D）；

6.对冷凝液有很好的耐受性；

7.和分子泵相比，更好的极限真空稳定性和维护周期；

8.在真空条件下仍可稳定启动；

9.尺寸小、重量轻、振动低；

对轴承来说，润滑是左右其性能的重要问题。一般认为，轴间泄漏就是叶轮锁母没锁紧，其实导致轴间泄漏的因素较多，如轴间垫失效，偏移，轴间内有杂质，轴与轴套配合处有较大的形位误差，接触面***，轴上各部件间有间隙，轴头螺纹过长等都会导致轴间泄漏。润滑剂或润滑方式的合适与否将大大影响轴承的寿命。如果轴承用的是高品位的润滑脂在正常运行条件下可运行15000小时或两年。对电机功率大于18.5KW的水泵或在不利的条件下比如环境温度高、空气湿度大、灰尘多、侵蚀性强的工业环境应提前检查轴承，必要时可安排5000小时更换一次润滑脂。

①、泵入口：对正、对称拧紧

　　②、泵出口：防止错位

　　③、冷却水：无漏水；入口水压0.2MPa；水温20±５℃；水质澄清无沉淀

　　注意：环境温度：风冷需小于32℃;水冷可至40℃

　　入口压强：强制风冷lt;0.1Pa;自然风冷lt;0.01Pa

1分子泵振动，可直接接于被抽系统。

　　对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。

　　2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

　　机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

　　气体振动（气量突变、压强突变）

　　意外振动（掉入***、碰撞等）

　　注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的***、甚至碎泵。

润滑脂充填量随外壳的结构和容积而有所不同，一般充填至容积的1/3－1/2为宜。由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。充填量过多时，润滑脂因搅拌发热发生变质，老化和软化。水泵机组和管路在使用一段时期后，应做好水泵***工作放尽水泵和管路内的剩水。如拆卸方便，可将水泵和管路拆下来，并清理干净。