广州帕纳光电科技有限公司----Agilent TV301销售中心；

工作条件

　　（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。

　　（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。

分子泵特点

　　油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

　　脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

　　全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

20世纪70年代末开始，人们对真空装置提出更高的要求，既除了能获得高真空之外，还需要能够在排气之后导入各种各样的气体，并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。比如发现水泵轴填料磨损严重时，要及时增加填料，否则就会使水泵轴填料漏气。为了满足这种日益增长的需求，涡轮分子泵逐渐推广普及。

安装方向：油绳润滑：竖直、水平；

　　 油润滑：竖直方向±5°范围内；

　　 脂润滑：任意角度

油池安装注意事项　　①、拆油

　　②、油量控制

　　③、油池卫生，防颗粒

　　④、对好、对称上紧螺钉，防止有漏

发现故障要及时排除，切忌让机组“带病”工作。比如发现水泵轴填料磨损严重时，要及时增加填料，否则就会使水泵轴填料漏气。正常使用下，为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形原因：过热，负载大解决措施：检查冷却系，检查系统分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体，如M5的顶丝等，请问是否对分子泵的使用有影响。水泵轴填料漏气不但使机组能耗过大，而且会出现气蚀现象，加快叶轮的损坏，直接影响水泵的使用寿命。再比如，发现水泵剧烈振动，应立即停机检查，否则若是水泵弯曲变形很有可能发生安全事故。

1分子泵振动，可直接接于被抽系统。

　　对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便可能的减少振动。

　　2冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑

　　机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）

　　气体振动（气量突变、压强突变）

　　意外振动（掉入***、碰撞等）

　　注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的***、甚至碎泵。

润滑脂充填量随外壳的结构和容积而有所不同，一般充填至容积的1/3－1/2为宜。充填量过多时，润滑脂因搅拌发热发生变质，老化和软化。水泵轴填料漏气不但使机组能耗过大，而且会出现气蚀现象，加快叶轮的损坏，直接影响水泵的使用寿命。水泵机组和管路在使用一段时期后，应做好水泵***工作放尽水泵和管路内的剩水。如拆卸方便，可将水泵和管路拆下来，并清理干净。