广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦涡轮分子泵维修中心；

当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵；因为当水泵开始工作时，底阀内的砂土就会随水进入泵内，磨损叶轮、泵壳和轴等，严重影响使用寿命，正确的方法应该是对底阀进行检修，确实无法修理的，更换。

在高真空或超高真空范围的应用中，比如分析仪器中的质谱/光谱、真空镀膜、真空冶金、半导体技术等，分子泵经常用于获得所需真空度，安捷伦涡轮分子泵维修中心高品质的无油隔膜泵可以获得分子泵（带分子拖动级）所需的前置真空，能够明显地改善所获得真空的清洁度，在许多情况下，这种无油的清洁真空是必须的。3、选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

3、选择系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。

4、不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运行。

5、分子泵入口应装设防护网，以避免***进入泵内损坏泵转子和定子叶片。

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水泵性能的技术参数有流量、吸程、扬程、轴功率、水功率、效率等；根据不同的工作原理可分为容积水泵、叶片泵等类型。容积泵是利用其工作室容积的变化来传递能量；叶片泵是利用回转叶片与水的相互作用来传递能量，有离心泵、轴流泵和混流泵等类型。

油封式旋片泵（即油泵）

极限真空能到达10-3mbar，但油泵容易产生返油倒吸的问题，如果没有控制返流的安全阀，或者不合理的放气程序都会引起油蒸汽的返流，不合要求的安全阀也会引起油污染，从而导致分子泵提供的真空环境里会存在一定含量的碳氢化合物，影响使用；平衡盘及平衡盘座材质不合要求处理方法：更换材质符合要求的平衡盘及平衡盘座。并且油泵操作温度较高，如果散热效果较差，会直接影响客户的测试结果；另外还需要定时换油，总体来说维护成本高，能耗大。