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离子泵的工作原理?
1.产生放电;电子碰撞气体分子发生电离
2.离子注入进入钛阴极
3.钛阴极发生磁控溅射,在阳极上沉积钛膜
4.气体分子在钛表面被吸附,STP-iXA3306CV分子泵修理中心,然后被掩埋;STP-iXA3306CV分子泵修理中心
离子泵和升华泵的优点有哪些?
不需要前级泵、关闭电源后,仍有抽气作用, 用于维持真空、耐用
离子泵和升华泵有哪些缺点?
饱和效应明显,只能用于小负载、脱气、对气体有选择性,钛的吸附能力决定;STP-iXA3306CV分子泵修理中心
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风险性:泵出口做到较大 压力,将会造成中下游管线及机器设备过压。
保护措施:
1、核查装置设计方案时中下游管线和机器设备是不是依照较大 压力设计制作;STP-iXA3306CV分子泵修理中心
2、那麼有关的保护措施是不是具有:阀门;其他卸压对策(放空自己、压控);
3、核查泵设计方案是不是充分考虑物质转变;要是没有考虑到,实际操作要求来避免过压能够传做到作业者。STP-iXA3306CV分子泵修理中心
假如泵有备台,将会备泵存有过压的风险性:缘故:备泵通道阀关掉,出口阀没关或漏气时。
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涡轮分子泵有什么特点?涡轮分子泵的优点是启动快;方便, 可靠, 体积小;可烘烤到 125 ℃,对小分子压缩比低:for H2, 103 ~ 105;磁悬浮轴承;不需要维护;耐腐蚀,能抗各种射线的照射;耐大气冲击;无气体存储和解吸效应;无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能、可控热核反应装置、重粒子和电子器件制造等方面。STP-iXA3306CV分子泵修理中心
分子泵轴承在什么情况下需要清洗?漏气和脱附气率没有变化的情况下,无法达到应有的真空性能,甚至长时间烘烤也不能***其真空性能;系统存在大量粉尘类衍生物,或者有固体、液体等进入分子泵内;STP-iXA3306CV分子泵修理中心
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