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当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“ EF”时，VARIAN分子泵修理销售，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

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在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵；

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应用程序提供了对分子泵的远程控制功能，使您可以轻松简便的和监测泵的运行状态，查看泵的参数和参数变化曲线，如功率变化曲线，真空度变化曲线（如果安装有适配的真空计），这在您设计真空系统或抽气工艺时将会非常有用。您还可以通过该应用程序导出日志文件，并保存在手机上或通过邮件、短信等，与您的同事或安捷伦技术支持团队快速共享泵的信息和日志文件。日志文件可以通过电子表格（excel）程序打开并查看，只需点击几下屏幕，就可以方便的进行沟通，这避免反复的询问和确认，开启了一种全新的交流方式。

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由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，珠三角VARIAN分子泵维修，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到抽速的压力区间是1~10-8Pa之间，因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。

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工作条件

　　（1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。

　　（2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。

分子泵特点

　　油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。

　　脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。

　　全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。

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20世纪70年代末开始，人们对真空装置提出更高的要求，VARIAN分子泵销售中心，既除了能获得高真空之外，还需要能够在排气之后导入各种各样的气体，并使其在真空装置中发生化学反应。所采用的泵应能高抽速地排除这类富于反应性的气体，需要的排气能力甚至比低温冷凝泵还要高。为了满足这种日益增长的需求，涡轮分子泵逐渐推广普及。

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