广州帕纳光电科技有限公司----Agilent分子泵维修；

分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同，利用了动量传递原理，使分子定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。　　分子泵在电机的带动下高速旋转，采用变频电源驱动电机，目的是得到较高的转速。

分子泵是一种真空泵，它使用高速旋转的转子将动量传递到气体分子以获得方向速度，从而将其压缩并驱动到上一级的排气口。

维护分子泵的操作要求：

1.分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏；

2.分子泵不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。 打开相应的高压阀以启动分子泵；

当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵；过大的轴承间隙，轴瓦松动，油内有杂质，油质(粘度、温度)不良，因空气或工艺液体使油起泡，润滑不良，轴承损坏处理方法：检查后，采取相应措施，如调整轴承间隙，清除油中杂质，更换新油。

检查滚珠轴承，如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。

检查叶轮上是否有裂痕或小孔，叶轮固定螺母是否松动，如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙，如超过规定值，应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。

磁场屏蔽出现的问题

　　旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：

　　①、转子与定子间隙越来越小，造成碎片；

　　②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁；

　　③、由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；

　　④、转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。

　　分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。