广州帕纳光电科技有限公司----高真空涡轮分子泵维修；

当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵；近些年随着控制理论与计算机技术的飞速发展并应用于分子泵上，使分子泵实现了电脑控制，从而实现了远距离控制泵的起动、停车及调速，同时基于信息技术可建立完善的安全及监控系统，使分子泵朝向智能化方向发展。

涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。

新设计了***和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。除此之外，近些年还出现了多种新型分子泵，如可有效抽取水分子的低温型分子泵，可在强磁场、强腐蚀条件下工作的陶瓷分子泵，以及可实现无接触支撑、、高寿命的磁悬浮分子泵等。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。

分子泵的转速可达到10000r/min~50000r/min，如果直接抽大气，气流会对分子泵造成不可逆的损伤甚至报废。 分子泵无法直接将气体压缩到常压，即无法直接对大气排气。基于分子泵的工作原理，在开启分子泵前必须配置一台辅助前级泵。

水泵性能的技术参数有流量、吸程、扬程、轴功率、水功率、效率等；根据不同的工作原理可分为容积水泵、叶片泵等类型。容积泵是利用其工作室容积的变化来传递能量；叶片泵是利用回转叶片与水的相互作用来传递能量，有离心泵、轴流泵和混流泵等类型。

轴承瓦块刮研不合要求

处理方法：重新修理轴承瓦块或更换。

轴承间隙过小

处理方法：重新调整轴承间隙或刮研；

润滑油量不足，油质不良

处理方法：增加油量或更换润滑油；

分子泵在运转过程中，出现频率从正常下降至一定频率后又***到正常，之后又下降至一定频率，再***到正常，反反复复，更换电源后现象仍如此，请问该现象如何解释？

　　原因：负载太大，系统真空度不够

　　解决方法：检查系统

分子泵轴承为什么会烧毁

　　原因：①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘

　　解决方法：①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘