广州帕纳光电科技有限公司----VARIAN TV301分子泵维修中心；

这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。 2）涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。分子泵启动的条件：①、启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度②、启动时间：同时启动——小系统，防前级泵油上返。

涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。无论在何种情况下，都不要使胶带沾上机油、柴油或等油类物质，不要对胶带涂松香和其他粘性的物质。

水泵是输送液体或使液体增压的机械。它将原动机的机械能或其他外部能量传送给液体，使液体能量增加，主要用来输送液体包括水、油、酸碱液、乳化液、悬乳液和液态金属等。也可输送液体、气体混合物以及含悬浮固体物的液体。

1. 分子泵必须在分子流状态下工作，在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距，而气体分子的平均自由程长度会随着容器压力下降而增加，因此分子泵如果直接抽取大气，反而无法显示出它的优越性。

有防护网保护，为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内？

　　原因：防护网，前级管道

　　解决方法：优化系统设计

真空度很好的情况下，分子泵油为何会返到前级管道？

　　原因：油池或密封不良

　　解决方法：检查油池

轴承装配不良

处理方法：按要求检查轴承装配情况，消除不合要求因素；

冷却水断路

处理方法：检查、修理；

轴承磨损或松动

处理方法：修理轴承或报废。

若松协，复紧有关螺栓；泵轴弯曲

处理方法：矫正泵轴；

甩油环变形，甩油环不能转动，带不上油

处理方法：更新甩油环；