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当提升工作压力以不符合分子结构流动性标准（大概2×101Pa）时，因为大部分分子结构没法立即与叶片撞击，因而泵速会快速减少。曲线图1、2和3相匹配于压缩比与不一样前面泵；（3）的速率和相对性分子质量中间的关联。压缩比与速率的平方根和相对性分子质量成指数值关联（G（4-68在公式计算中，G是由几何图形样子明确的主要参数。爱德华分子泵维修销售公司

精测量結果与公式计算基本一致。显示信息压缩比，在其中：p意味着前面泵端口号的工作压力和力，意味着分子结构，泵的通道工作压力，在同样速率下，大的汽体分子结构具备大的压缩比，高的限真空泵，质轻汽体成份，压缩比小，限真空泵低，即质轻分子结构关键处在分子泵的限真空泵中；去除氢，氦等质轻分子结构的工作能力较差。净重具备较高的压缩比，它是涡轮分子泵可用以得到清理真空泵的物理学基本爱德华分子泵维修销售公司

例如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等化学物质，在与气体或氧触碰的情况下，会造成点燃乃至发生；氡气在空气中的混和占比做到一定水平与温度时也会产生点燃。这种都在于该物质的量及其与自然环境的工作压力、温度的关联。因而半导体材料真空泵在提取这种物质时，必须用N2这类的稀有气体，在缩小前将要这种汽体稀释液到那时候标准下的安全性范畴.爱德华分子泵维修销售公司

按时清理真空泵以及他附注、过虑、管路，防止过压：

半导体材料真空泵运用时，提取物质全过程中历经反映室与真空泵，其成份将会极其繁杂，如SiH4与O2在泵口产生SiO2，TiCl4水解反应会产生HCl；假定是骨架密封式机械泵，这种汽体化学物质还将会与泵油产生化反。这种转变假定产生颗粒物、可凝物或是腐蚀物质，就将会阻塞真空泵或管道系统软件，危害真空泵特性，导致工作压力升高或过压，一点中提及的***因素也更大。因此必须立即的清理，并在必需的情况下设定过滤器设备。爱德华分子泵维修销售公司

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为什么一定要配备前级泵？Why?

1.分子泵务必在分子流情况下工作中，在分子流范畴内，气体分子的平均自由程长短远高于分子泵叶片中间的间隔，而气体分子的平均自由程长短会伴随着器皿工作压力降低而提升，因而分子泵假如立即提取空气，反倒不显示出它的优势。爱德华分子泵维修销售公司

2.分子泵的转速比可做到10000r/min~50000r/min，假如立即抽空气，气旋会对分子泵导致不可逆的损害乃至报费。爱德华分子泵维修销售公司

3.分子泵没法立即将气体缩小到过热蒸汽，即没法立即对空气排气管。根据分子泵的原理，在打开分子泵前务必配备一台輔助前级泵。