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例如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等化学物质,在与气体或氧触碰的情况下,会造成点燃乃至发生;氡气在空气中的混和占比做到一定水平与温度时也会产生点燃。这种都在于该物质的量及其与自然环境的工作压力、温度的关联。因而半导体材料真空泵在提取这种物质时,必须用N2这类的稀有气体,STP-301磁悬浮分子泵维修厂家,在缩小前将要这种汽体稀释液到那时候标准下的安全性范畴.STP-301磁悬浮分子泵维修
按时清理真空泵以及他附注、过虑、管路,防止过压:
半导体材料真空泵运用时,提取物质全过程中历经反映室与真空泵,其成份将会极其繁杂,如SiH4与O2在泵口产生SiO2,TiCl4水解反应会产生HCl;假定是骨架密封式机械泵,这种汽体化学物质还将会与泵油产生化反。这种转变假定产生颗粒物、可凝物或是腐蚀物质,就将会阻塞真空泵或管道系统软件,危害真空泵特性,导致工作压力升高或过压,一点中提及的***因素也更大。因此必须立即的清理,STP-301磁悬浮分子泵维修中心,并在必需的情况下设定过滤器设备。STP-301磁悬浮分子泵维修
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分子泵的清理十分关键,左右主题活动分子泵几回,有利于分子泵的电机转子的叶片清理。更换没有水酒精,加微信好友新的没有水酒精,至少要反复一次。酒精中侵泡大约5~10min。取下分子泵,将高真空泵插口朝上,再迟缓放正,便于排出来带磁滚动轴承中的酒精。用一个网格图放到高真空泵插口上,随后朝下置放30min之上,排出来清理酒精,留意插口的密封性表层不必损害。STP-301磁悬浮分子泵维修
接好前面机械泵,在关掉分子泵的状况下,STP301磁悬浮分子泵维修联系方式,运用前面泵真***装,使真空值做到大约10^-1Pa上下,STP-301磁悬浮分子泵维修,便于分子泵中残余的无水酒精。因前面机械泵中有酒精,需拆换前面泵真空泵油。接好分子泵开始工作,由于历经解决后,分子泵中仍有残余的酒精存有,因而次真***装较慢,归属于一切正常状况。STP-301磁悬浮分子泵维修
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当提升工作压力以不符合分子结构流动性标准(大概2×101Pa)时,因为大部分分子结构没法立即与叶片撞击,因而泵速会快速减少。曲线图1、2和3相匹配于压缩比与不一样前面泵;(3)的速率和相对性分子质量中间的关联。压缩比与速率的平方根和相对性分子质量成指数值关联(G(4-68在公式计算中,G是由几何图形样子明确的主要参数。STP-301磁悬浮分子泵维修
精测量結果与公式计算基本一致。显示信息压缩比,在其中:p意味着前面泵端口号的工作压力和力,意味着分子结构,泵的通道工作压力,在同样速率下,大的汽体分子结构具备大的压缩比,高的限真空泵,质轻汽体成份,压缩比小,限真空泵低,即质轻分子结构关键处在分子泵的限真空泵中;去除氢,氦等质轻分子结构的工作能力较差。净重具备较高的压缩比,它是涡轮分子泵可用以得到清理真空泵的物理学基本STP-301磁悬浮分子泵维修
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