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分子泵在未点火的情况下自己停了,再抽真空时分子泵的转速到600左右时就再也上不去了,什么原因?答
1、真空显示有多少?是不是有漏?或者分子泵轴承有问题了?
2、可能是哪里漏气了,如果不行,赶紧联系厂家吧!否则,分子泵坏了可麻烦了!
Edwa***是一家***的真空设备、尾气处理系统和相关增值服务的开发商和制造商。其产品和服务在半导体、平板显示器、LED和太阳能电池的制造流程中不可或缺;被应用于日益多样化的工业生产过程,包括电力、玻璃和其他镀膜应用、钢铁和其他冶金工业、制药和化学工业,并用于科学仪器和多种研发应用。
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在真空系统中,需要经常检查机械旋转泵和油扩散泵的油面,一旦发现油面下降应及时加油。旋转泵若缺油不仅会磨坏轴套上的油封圈,而且对旋片端头和内腔壁也可能会造成性的损伤,使极限真空度下降。
若电子枪、衬管、光栏和样品仓等部位的污染加快、加重,则意味着冷却循环水的冷却效果变差,有可能是冷却水的压力下降、水温上升或管道内水垢增厚,这些都会导致制冷效果不良。此时要采取相应的解决办法,如调高循环水的压力或调低水温、排除循环水通道中的堵塞滅清断却管道中的水鮮相应措施。
真空泵启动失败的原因如下。
(1)驱动电机电压不正确或过载。
(2)电动机启动器的过载保护太小或设定值太低
(3)***丝烧断。
(4)如果真空泵装有交流电动机:电动机的电容器损坏。
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