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当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子泵之前，请确保水路畅通。 当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。在分子流区域内，气体分子与高速转到的叶片表面碰撞，动量传递给气体分子，使部分气体分子在刚体表面的运动方向上，产生定向流动而被排出泵外，从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象，利用这一现象制成的真空泵称为牵引分子泵；

分子泵叶片破碎的原因：

　　答：造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多，归纳起来主要是以下几点：

　　①、误操作;比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。

静环密封圈越紧越好。静环密封圈基本处于静止状态，相对较紧密封效果会好些，但过紧也是***的。一是引起静环密封因过度变形，影响密封效果；二是如果静环材质是石墨，一般较脆，过度受力极易引起碎裂；三是安装、拆卸困难，极易损坏静环。

水泵的使用除了严格按安装使用说明书进行外，还应注意两点：

一是切忌仅凭“经验”。比如突然的破真空，因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小，如果叶片的材质比较薄或者比较软，突然的空气阻力会造成叶片变形，这样可能会造成转子静子之间的摩擦，导致打碎。比如水泵在出现底阀漏水时，有些机手图省事，在每次开机前，先向进口管口填些干土，再将土冲到底阀，以使底阀不漏水。此法看起来简便易行，但实不足取。因为当水泵开始工作时，底阀内的砂土就会随水进入泵内，磨损叶轮、泵壳和轴等，严重影响使用寿命，正确的方法应该是对底阀进行检修，确实无法修理的，更换。

总体安装注意事项

　　①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。

　　②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。

　　③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。

　　④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。

　　⑤、确认已装入润滑油。

分子泵是一种高速运行的机械泵，因此对平衡的要求很高，对固体不干净的东西十分比较敏感，一般要在分子泵的通道安装金属复合材料过滤网。分子泵工作中整个过程中，倘若气体压强突然恶化，则有可能损坏叶片。VARIAN TV301分子泵维修公司

基础的分子泵运用滚柱轴承来确保叶片的高速运行。新型的分子泵采用磁悬浮构造，促进叶片传动比不断提高的此外，更使分子泵适合极高真空技术，也提升了分子泵的使用寿命。VARIAN TV301分子泵维修公司