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分子泵在半导体机械设备中的运用
在半导体材料生产加工加工工艺中,分子泵广泛运用于光刻技术、塑料薄膜堆积机器设备、离子注入机器设备、离子注入机等主要设备。Agilent TV301分子泵销售厂家
光刻技术是生产制造规模性集成电路芯片的关键机器设备,生产制造和维护***必须高宽比的电子光学和电子工业基本,全世界仅有数生产厂家把握,因而光刻机价格价格昂贵。光刻技术光刻技术全过程务必在高真空中完成,缘故是极紫外线很娇气,在空气中非常容易耗损。另外,在光刻技术全过程中,机器设备的姿势时间误差以皮秒激光计,这对磁悬浮分子泵的震动值规定极高。分子泵的抽气机理与机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,利用了动量传递原理,使分子定向流动而被排出泵外,从而达到抽气的目的。(注:皮秒激光=兆分之一秒)Agilent TV301分子泵销售厂家
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软启动器开关电源,转速比升高全过程中就自动开关机,即显示信息“Po“。
答:缘故工作电压低。Agilent TV301分子泵销售厂家
分子泵的清理十分关键,假如前面泵没有问题,而真空泵在要求的時间内沒有做到要求的真空值,在清除漏汽的状况下,表明分子泵內部脏化了,就必须开展清理。分子泵的清理分成立即开展清理和拆装清理,前面一种适用內部不太脏,后面一种用以內部比较严重脏化。答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。Agilent TV301分子泵销售厂家
安裝常见问题:
①、安裝前要查验分子泵运送中是不是被毁坏。
②、开启泵高真空泵端法兰盖板,戴好胶手套,转动涡轮增压电机转子,应旋转灵便,无异常情况。
③、安裝自然环境应合乎技术标准和真空泵卫生要求。
④、确定安全防护网已安裝,特殊情况下订制独特安全防护网。
⑤、确定已装进润滑脂。
⑥、安裝方位:油绳润化:垂直、水准;Agilent TV301分子泵销售厂家
油池安裝常见问题
①、拆下来滴油
②、剩余油操纵
③、油池环境卫生,防颗粒物
④、对好、对称性上紧螺丝,避免 有漏。Agilent TV301分子泵销售厂家
震动防护、冲击性安全防护
①、分子泵震动很小,可立即接于被抽系统软件。针对高仪器仪表的运用(如透射电镜),提议应用隔振器,便于较大 很有可能的降低震动。
②、冲击性安全防护:高速运转、空隙不大、软性支撑点
阻尼振动(预抽泵、前面泵、机械设备姿势等)
汽体震动(供气量突然变化、气体压强突然变化)
出现意外震动(落入脏东西、撞击等)
留意:沒有对泵开展必需安全防护,非常容易导致分子泵比较严重的毁坏、乃至碎泵。Agilent TV301分子泵销售厂家
空气载、热汽体、突然变化气载
a造成难题:溫度上升;声响片形变;电机转子移位;润化无效5℃标准;滚动轴承无效
b.对策:增加水冷散热;提升制冷设备;减少换机油時间。Agilent TV301分子泵销售厂家
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