嵌入可动电极的微惯性传感器的设计

MEMS电容式微惯性传感器因其具有尺寸小、灵敏度高、稳定性好、温度漂移小、功耗低、很好的工作在力平衡模式下等等优点，在军事、汽车工业、生物***、消费电子、惯性导航等领域得到广泛的应用。各种压力传感器的原理压阻式压力传感器这种传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内，引出电极引线。 本首先分析了电容式微惯性传感器的测量控制原理和系统动态模型，并在此基础上通过三个方面设计出新型嵌入横向可动电极的微惯性传感器，分别是：支撑梁结构、微执行器结构和检测电容结构。通过分别对以上三方面不同结构模型的分析对比，在传感器设计中选用U形梁结构作为传感器的支撑梁，电磁执行器作为驱动力，梳栅结构作为检测电容结构。

其中为了克服深反应离子刻蚀关于深宽比不能做大的限制和降低噪声，详细介绍了电磁驱动增大传感器初始检测电容的工作原理，通过嵌入可动电极和电磁驱动作用减小电容间隙，结果表明，电磁驱动使得传感器的电容间隙减小4μm，初始检测电容由1.28pf增大到6.4pf。 根据以上理论分析和参数设计，给出了新型电容式微惯性传感器的整体结构模型，并利用有限元软件Ansys进行。今后可通过热压印等技术减小TMR—超导磁放大器间距，从而提高器件的灵敏度。结果表明所设计的传感器在非敏感方向上梁的刚度较大，轴向交叉效应得到了有效***；传感器的静态位移灵敏度为0.659μm/g，施加电磁驱动前后的电容灵敏度分别为0.15pf/g和0.192pf/g，增大为原来的1.28倍；同时应力分析结果表明，传感器能够抵挡1000g的加速度信号的冲击而不被损坏。之后利用电磁分析软件ANSOFT-Maxwell分析了边缘效应对传感器性能的影响，表明小尺寸的传感器电容的边缘效应不可忽略。

水处理系统智能数据传感器

传统水处理行业如何搭载人工智能这趟高速列车?日前，基于大数据预测分析的智能水处理诊断预测平台(以下简称智水平台)正式上线运行。Maxim的风扇控制器IC监测和控制系统制冷应用中的风扇转速。平台结合开放的分析与预测软件，可以为工业用水和废水，城市污水处理提供产品识别和实时的设备故障监测预测，从而帮助企业用户提升设备性能，改善系统效率及降低维运成本，使水处理简洁化、透明化和精准。

可以结合实时传感器数据，预测水处理设备的潜在故障，诊断运行不合理的应用，通过人工智能算法实现自动的预测结果，进而实现信息的互联互通、问题的提前预判、数据的自我演进和操控的***管理。从霍尔效应磁传感器、磁通门磁传感器、磁电阻传感器到光泵磁强计和超导量子干涉器件(SQUID)，磁传感器技术不断的向前发展。通过跨设备、跨工艺、跨系统、跨技术的互联互通，实现水处理的资源优化、协同合作和服务延伸，瑞泰威公司充分发挥自身优势，将打造成为水处理行业***分析与预测软件公司，垂直领域的人工智能技术互联网平台。

生活中的传感器种类

1、传感器有哪些种类--光传感器

光传感器利用的是半导体的光导效应或光生伏应。光生伏应是通过光照射，将半导体PN结处产生的电压或电流作为输出加以检测。介绍了基于IC的上海光源储存环新一代集成数字化低电平控制器的射频前端设计、制造和性能测试。如光敏二级管，光敏三级管等。这些效应都是利用了光的量子性质。常见的e5a48de588b6e79fa5e9819331333431363632应用实例，就是光控灯。

2、传感器有哪些种类--温度传感器

用于检测温度的物理效应当中，除了利用塞贝克效应的热电偶外，通常利用Pt，W等的金属和氧气物半导体以及非氧化物半导体，有机半导体等的电阻随温度变化来作为温度传感器的.。近年来,基于随机有限集理论的多传感器多目标跟踪方法开始受到研究学者的关注。此外，还有利用PN结处电流——电压特性随温度的变化，利用居里温度附近磁特性和介电常数变化的传感器，利用介电常数和压电常数的变化，来检测其共振频率变化的温度的感器等。常见的应用实例，就是空调的控温了。

3、传感器有哪些种类--压力传感器

大多数压力传感器都是利用了某种压阻效应。所谓压阻效应，就是当压力施加于电阻体上时，会使其电阻值发生变化，这种现象称为压阻现象比金属电阻的变化明显得多，其主要是因在受压后其电子或空穴的迁移率发生变化。常见的应用实例，就是电子称了。

4、传感器有哪些种类--磁传感器

磁传感器常用的效应是霍尔效应与磁阻效应。利用霍尔效应的元件是霍尔元件，它是在一半导体薄片两端之间通以电流，如果在薄片垂直方向外加一磁场，则载流子在罗伦兹力的作用下，将沿着与磁场方向垂直的方向移动，若在该方向上设置电极，则可检测出电压来 (霍尔电压)。根据以上理论分析和参数设计，给出了新型电容式微惯性传感器的整体结构模型，并利用有限元软件Ansys进行。常见的应用实例，就是电动车的调速方法了。

传感器的作用有哪些？

通常***中的护理都必须依靠护士不断巡视病房，定时测量的体温、血压、功百能等指标，十分费工费时，而且灵敏度、准确率也不高。随着重组DNA技术、单技术以及计算机技术的并列发展，传感器与电子计算机结合，不仅可以超微量地检测***外的血样、尿样中的生化代谢物，度而且已发展为不用抽血、抽体液直接可以测得***内生化代谢物的变化情况，通过检测的抗原、体含量、蛋白含量等以诊断***。针对这两款传感器进行了地下位移测量方法及相关理论的深入研究工作。掌握、、、病毒等各种***以及因怀孕而引起的生理变化情况。世界各国都在积极开发应用这项临床诊断和检测技术。

深圳市瑞泰威科技有限公司是国内IC电子元器件的代理销售企业，***从事各类驱动IC、存储IC、传感器IC、触摸IC销售，品类齐全，具备上百个型号。与国内外的东芝、恩智浦、安森美、全宇昕、上海晶准等均稳定合作，保证产品的品质和稳定供货。如何将多个传感器的量测数据进行有机融合,得到比单个传感器更优越的跟踪性能,是多传感器多目标跟踪领域的难点和热点。自公司成立以来，飞速发展，产品已涵盖了工控类IC、光通信类IC、无线通信IC、消费类IC等行业。