国内外实践证明,大功率电子枪是钢带连续真空镀膜工艺的理想热源。这是因为
(1)电子枪发射的电子束经聚焦后可达到极高的能量密度,轰击坩埚镀膜材料,可使其温度达到3000℃以上,远比电弧温度高。
(2)电子束能量转化率高达80%-90%,采用磁偏转系统可以方便地进行电子束聚焦和扫描,加热均匀。
(3)电子束只轰击镀膜材料表面,不会由于其它材料的掺入而引起夹杂问题。
(4)电子枪蒸发镀膜机使用时的束斑直径、电功率、加束电压、扫描轨迹、频率等参数都容易实现调节。
(5)使用电子枪还可以在钢带镀膜生产过程中对被镀钢带进行真空预热,就是使用电子枪清洁钢带,轰击表面使其活化。通过电子束不停的扫描,钢带表面温度控制在200~550℃,这种预热是钢带镀膜和提高镀膜附着力所必须的。
电子产品体积越来越小,越来越复杂,Parylene共形涂敷能够提供超薄无防护来保证元件的可靠性和使用寿命。
橡胶/硅树脂主要作用:干式润滑,隔离,不互相沾黏、不沾纤维和污垢,无印记,无表面损伤 Parylene 能够保护产品免受油、污垢和污染物的影响,提高润滑性。涂敷防止弹性体元件中副产品溶出并保护产品表面不受和无机***、酸和溶液的影响。
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。用Parylene涂敷的集成电路硅片细引线可加固5-10倍,Parylene还能渗透到硅片下面,提高硅片的结合强度,提高集成电路的可靠性。
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