同时，人们把另一类气相沉积，即通过高温加热金属或金属化合物蒸发成气相，或者通过电子、等离子体、光子等荷能粒子的能量把金属或化合物靶溅射出相应的原子、离子、分子(气态)，LED纳米镀膜设备，在固体表面上沉积成固相膜，其中不涉及到物质的化学反应(分解或化合)，称为物***相沉积PVD)。

随着气相沉积技术的发展和应用，上述两类型气相沉积各自都有新的技术内容，两者相互交叉，你中有我，我中有你，致使难以严格分清是化学的还是物理的。

化学气相沉积TiN

将经清洗、脱脂和氨气还原处理后的模具工件，纳米镀膜设备，置于充满H2（体积分数为99.99%）的反应器中，五金纳米镀膜设备，加热到900-1100℃，通入N2（体积分数为99.99%）的同时，并带入气态TiCl4（质量分数不低于99.0%）到反应器中，则在工件表面上发生如下化学反应：

2TiCl4（气） N2（气） 4H2（气）→2TiN（固） 8HCl（气）

固态TiN沉积在模具表面上形成TiN涂层，橡胶纳米镀膜设备，厚度可达3-10μm，副产品HCl气体则被吸收器排出。工艺参数的控制如下：

（1）氮氢比对TiN的影响

一般情况下，氮氢体积比VN2/VH2lt;1/2时，随着N2的增加，TiN沉积速率增大，涂层显微硬度增大；当VN2/VH2≈1/2时，沉积速率和硬度达到值；当VN2/VH2gt;1/2时，沉积速率和硬度逐渐下降。当VN2/VH2≈1/2时，所形成的TiN涂层均匀致密，晶粒细小，硬度，涂层成分接近于化学当量的TiN，而且与基体的结合牢固。因此，VN2/VH2要控制在1/2左右。

镀膜机工艺在装饰品方面的运用跟着经济的开展和生活水平的进步，大家喜爱将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室表里装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五光十色。

镀膜技能在飞机防护涂层方面的运用飞机的钛合金紧固件，原来选用电镀办法镀镉。但在镀镉中含有氢，所以在飞翔进程中，遭到大气、海水的腐蚀，镀层上简单发生'镉脆'，甚至导致'空难'。1964年，选用离子镀办法在钛合金紧固件上镀铝，处理了飞机零件的'镉脆'疑问。在离子镀技能中，因为给工件施加负偏压，能够构成'伪分散层'、细化膜层安排，因而能够显著进步膜层的耐腐蚀功能。

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