随着工业技术的不断发展,对材料的综合性能要求也不断提高,单一材料性能已不能满足某些特定环境下工作机械的性能要求。国内真空离子镀膜机经过几十年的发展,相对于国外镀膜设备而言,在自动化程度与技术上取得了一定的进步,但在镀膜产品稳定性和性方面尚需提升,设备仍依赖进口。从半导体集成电路、LED、显示器、触摸屏、太阳能光伏、化工、制药等行业的发展来看,对真空镀膜设备、技术、材料需求都在不断增加,包括制造大规模集成电路的电学膜。同时多弧离子镀膜机低端产品市场存在供大于求的情况,价格竞争较为激烈。
而阳光控制膜和低辐射膜正好能弥补了普通玻璃在这一方面的不足。阳光控制膜可以满足低纬度地区降低室内温度的要求;而低辐射膜则能满足高纬度地区充分接受太阳辐射能量和阻止室内热量外流的要求。国内真空离子镀膜机经过几十年的发展,相对于国外镀膜设备而言,在自动化程度与技术上取得了一定的进步,但在镀膜产品稳定性和性方面尚需提升,设备仍依赖进口。 在玻璃上,镀涂一层TiO2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃。这种工艺在汽车玻璃上有很好的应用。多弧离子镀膜机
镀膜技术在平板显示器中的应用 所有各类平板显示器都要用到各种类型的薄膜,而且几乎所有类型的平板显示器件都需要使用ITO膜,以满足透明电器的要求。可以毫不夸张的说:没有薄膜技术就没有平板显示器件。
镀膜技术在集成电路制造中的应用 晶体管路中的保护层(SiO2、Si3N4)、电极管线(多晶硅、铝、铜及其合金)等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见气相沉积术制备集成电路的核心技术之一。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
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