在光学镀膜材料的应用上，镀膜靶材是核心技术，通过不同靶材中含有的稀有金属不同而形成不同的光学镀膜材料，普遍应用的稀有金属有氟化钇、氟化镨、锗、硫化锌、氟化镁、二氧化钛、氧化锆、钴、、硒等金属。真空镀膜的方法很多，计有：(1)真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13。在反射镜的光学材料中普遍用到铜、钼、硅、锗等金属，在输出端和透射光学原件中锗、、硒化锌等应用广泛。

随着镀膜技术的不断推广，光学镀膜技术的应用领域也在不断拓宽，这些具有优***理特性的金属将随着我们生活水平的提高为我们的生活带来更多的精彩。

纳米镀膜

　纳米镀膜机的工艺流程，塑料薄膜的镀铝工艺一般采用直镀法，即将铝层直接镀在基材薄膜表面。BOPET、BOPA薄膜基材镀铝前不需进行表面处理，可直接进行蒸镀。而BOPP、PE等非极性塑料薄膜，在蒸镀前需对薄膜表面进行电晕处理或涂布黏合层

转移法。是借助载体膜(真空镀铝膜)将金属铝层转移到基材的表面而形成镀铝薄膜。转移法是在直接蒸镀法的基础上发展起来的新工艺，它克服了直接蒸镀法对基材要求的局限性

? 微电子、半导体：使用高纯的Parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。

?传感器和换能器：自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器， Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性，涂层无，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种恶劣环境。

?Parylene适用于微机电(MEMS)、半导体领域之优点

*能进行微米级微细制作和加工；

*与其它微细结构材料有很好的相容性；

* 在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能；

*对微电子机械系统的使用环境有很好的相容性和防护性