镀膜技术在信息存储领域中的应用 薄膜材料作为信息记录于存储介质,有其得天独厚的优势:由于薄膜很薄可以忽略涡流损耗;磁化反转极为迅速;与膜面平行的双稳态状态容易保持等。车灯镀膜机 为了更精密地记录与存储信息,必然要采用镀膜技术。
镀膜技术在传感器方面的应用 在传感器中,多采用那些电气性质相对于物理量、化学量及其变化来说,极为敏感的半导体材料。
镀膜技术在集成电路制造中的应用 晶体管路中的保护层(SiO2、Si3N4)、电极管线(多晶硅、铝、铜及其合金)等多是采用CVD技术、PVCD技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见气相沉积术制备集成电路的核心技术之一。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材。 基片与靶材同在真空腔中。
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。然而,PVD表面处理受批量生产成本和某些因素的限制,现在并没有大规模生产应用。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。
主要分类有两个大种类: 蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜,具体则包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,溶胶凝胶法等等 。
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