国内外实践证明,大功率电子枪是钢带连续真空镀膜工艺的理想热源。这是因为
(1)电子枪发射的电子束经聚焦后可达到极高的能量密度,轰击坩埚镀膜材料,可使其温度达到3000℃以上,远比电弧温度高。
(2)电子束能量转化率高达80%-90%,采用磁偏转系统可以方便地进行电子束聚焦和扫描,加热均匀。
(3)电子束只轰击镀膜材料表面,不会由于其它材料的掺入而引起夹杂问题。
(4)电子枪蒸发镀膜机使用时的束斑直径、电功率、加束电压、扫描轨迹、频率等参数都容易实现调节。
(5)使用电子枪还可以在钢带镀膜生产过程中对被镀钢带进行真空预热,就是使用电子枪清洁钢带,轰击表面使其活化。通过电子束不停的扫描,钢带表面温度控制在200~550℃,这种预热是钢带镀膜和提高镀膜附着力所必须的。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。
arylene符合ISO-10993生物试验要求
Parylene符合FDA G95-1
Parylene符合(RoHS)2002/95/EC
生物兼容性和生物稳定性
***的防化学物、防潮、绝缘及防电子阻隔性能、较好的机械强度,耐用且附着良好
微米级涂层厚度均匀可控,可控制厚度降低500A
干膜润滑性
优异的的疏水性能
良好光学性能
本身***,无副产物
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