随着科技和经济的提升，各种类型各种镀膜工艺的真空镀膜设备在不断的增加，其功能也越来越完善。

真空镀膜设备普遍应用于工业生产，无论是小产品还是大产品、金属制品还是塑胶制品、亦或者陶瓷、芯片、电路板、玻璃等产品，基本上所有需要进行表面处理镀膜的都需要用到。在镀膜方式上，比较普遍的是采用蒸发镀或者磁控溅射镀或者离子镀，在控制技术上，更多的应用***的计算机技术和微电子技术，气相沉积设备价格，使得真空镀膜设备更具***性和智能自动化。

玻璃镀膜设备是利用真空磁控溅射方式在浮法玻璃表面进行镀膜的***设备，镀膜舱室真空度为1.0E-6mbar的高真空，生产线采用真空磁控溅射方式在玻璃表面进行镀膜，保持高真空环境是玻璃镀膜设备的基本条件。

玻璃镀膜设备由真空腔室、镀膜腔室、狭缝阀、工艺介质平台、狭缝阀、传动系统、液压设备、冷却系统、放气系统、压缩空气系统、冷却水系统等组成，小型气相沉积设备，采用电气程序全自动控制。

玻璃基片通过传动辊道实现水平直线传输，依次经过锁室、缓冲室、过渡室进入工艺腔室，镀膜工艺完成后，经过渡室、缓冲室、锁室传出。传动辊道间通过同步齿形皮带联动，传动辊道由减速机通过施密特联轴器、刚性联轴器等与辊道相连。真空系统主要通过各种真空泵来实现，在生产线各个关键位置均安装各级真空规测量真空度。

气相沉积设备的日常维修应该注意哪些？

1、例行***消费设备中发现了一个欠好的痕迹，当即处置。

气相沉积设备不要以为这油活期转换，等候修理时刻，转子泵严峻磨损可以。例如，轴承的一些卡工件转架，转换轴承，然后比及它完好突破了，可真是个大作用，镀膜机可以会引起转架电机焚毁等。

2、定期检修，镀膜机有人会问一个日常的保护也需求活期保护?理想上，每个设备都有它自己的生命，如2年油分散泵的运用寿数，提前转换，镀膜机在消费阶段没有作用。

要你把日常保护和活期检修，对设备的运用寿数，在同一时刻的延伸，气相沉积设备，消费进程中的收效概率大大添加，进步了消费功率。

3、不要盲目装配。

镀膜机作用的真空部分是困难的，而许多公司不泄漏检测器，并将逐渐找到。

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