真空镀膜机厚度均匀性，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类

1。基片材料与靶材的晶格匹配程度

2、基片表面温度

3. 蒸发功率，速率

4. 真空度

5. 镀膜时间，厚度大小。

镀膜机开总电源，真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延

1. 开水泵、气源。

2. 开总电源。

3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。

4. 开机械泵、预抽，开涡轮分子泵电源、并启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。

5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关预抽，开前级泵和高真空阀继续抽真空，抽真空到达程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能打开电子枪电源。

浅析真空镀膜设备公司检漏方法　　

真空镀膜厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏是必不可少的。

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气系统抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。

玻璃镀膜设备的一个特点是生产的周期性，即“抽真空—真空状态生产—破空—腔室维护—抽真空”，这样周而复始进行。在生产状态下，溅射舱室内挡板及屏蔽板上沉积的溅射物逐渐增厚，会逐渐产生欠层、崩裂、脱落现象，掉落到玻璃上会影响玻璃的镀膜，造成缺陷，为此，就需要在掉落的溅射物造成的玻璃缺陷增多到一定程度时进行腔室维护，在连续的生产状态下，大约20天左右进行一次腔室维护。