气相沉积设备根据工艺要求选择镀制方式及形式，真空测量可选择数字式智能真空计及其优质的测量规管，及其它测量仪器。膜厚测量可选用方块电阻测量仪，气相沉积设备制造商，透过率计等。

气相沉积设备根据设备使用特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。

气相沉积设备根据需烘烤的结构提出烘烤温度、材质以及所需配备相应仪表测量。

气相沉积设备完善的报警系统，对真空室体、缺水、扩散泵断相、气压、电源负载的过压、过流等异常情况进行声光报警。

1.1真空镀膜vacuumcoating：在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。

1.2基片substrate：膜层承受体。

1.3试验基片testingsubstrate：在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和（或）试验的基片。

1.4镀膜材料coatingmaterial：用来制取膜层的原材料。

1.5蒸发材料evaporationmaterial：在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。

1.6溅射材料sputteringmaterial：有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。

1.7膜层材料(膜层材质)filmmaterial：组成膜层的材料。

1.8蒸发速率evaporationrate：在给定时间间隔内，蒸发出来的材料量，除以该时间间隔

1.9溅射速率sputteringrate：在给定时间间隔内，气相沉积设备厂商，溅射出来的材料量，除以该时间间隔。

1.10沉积速率：在给定时间间隔内，沉积在基片上的材料量，除以该时间间隔和基片表面积。

1.11镀膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。

真空镀膜设备真空热处理是指金属制件在真空或先抽真空后通惰性气体条件下加热，小型气相沉积设备，然后在油或气体中淬火冷却的技术。由于真空热处理时，工件基本不氧化，钢件不脱碳，气相沉积设备，采用通气对流加热方式还可使加热均匀，减少表面和心部的温差，从而也减少畸变。目前它已成为优质工模具不可或缺和的热处理工艺。更为可贵的是，真空热处理在生产过程中不会产生任何污染环境的物质，从而被大家公认属于清洁生产技术范畴。可以毫不夸张地说，真空热处理已成为当前***热处理生产技术的主要标志。

拉奇纳米镀膜(图)-气相沉积设备厂商-气相沉积设备由东莞拉奇纳米科技有限公司提供。东莞拉奇纳米科技有限公司（www.dglqnm.com）为客户提供“纳米镀膜”等业务，公司拥有“拉奇纳米”等品牌。专注于机械加工等行业，在广东 东莞 有较高知名度。欢迎来电垂询，联系人：郭先生。