浅析真空镀膜设备检漏方法　　

真空镀膜厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，所以检漏是必不可少的。

通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气系统抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。

在真空条件下成膜可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中于分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），电子真空镀膜设备，以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。

通常真空蒸镀要求成膜室内压力等于或低于10-2Pa，对于蒸发源与基板距离较远和薄膜质量要求很高的场合，真空镀膜设备，则要求压力更低。

真空镀膜设备腔室维护完毕后，金属真空镀膜设备，开始抽真空，抽真空的时间为36～48小时，期间在腔室真空达到一定程度时，进行真空测漏，真空测漏没有问题并且腔室真空达到工艺条件后，就可以进行生产准备了。维护之前的破空（从真空状态回到大气状态）需要 2 个小时，之后再对所有需要吊装的阴极及泵舱吹水之后就可以进行舱室维护了。

真空镀膜设备生产特点来看，腔室中所有设备部件的检查、维修要集中在舱室维护期间进行，并且要保证这些装置工作的可靠性，五金真空镀膜设备，否则，如果在正常生产期间出现问题，仅仅腔室破空和抽气就需要 40 多个小时，对生产的影响巨大。

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