无油真空泵近年来解决了不少科学研究和新材料、半导体行业的技术手段存在的基础、共性问题，国内很多企业也启动了基础、应用研究及小规模的试制无油真空泵的探索，在不同研发阶段上显示了产业结构调整的规划，如在基础技术、激励机制、技术推广、市场开拓规划的调整等，这些举措都为铺展市场做好了基础。

无油涡旋真空泵不仅解决了污染、振动等基础性、共性问题，还使系统制造与运行成本降低。在生物制品与半导体行业中，如果应用普通旋片油泵，会产生有油蒸汽污染与工艺系统返油问题，而无油涡旋真空泵就避免了这些问题的出现。为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子，还要在系统运行中，定期清洗除油，增加了成本运行。因此，无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景，是着重商业化的对象。

国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境，无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质，单旋片真空泵供应商，还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴，带动了整个真空获得行业的创新能力和技术标准。

真空泵电机温度高的对策 电机功率、转速是和东莞真空泵相匹配的，不能更改。风扇安装于电机主轴上，电机转速决定了风扇转速，也不可更换。增加风扇叶片数量虽能起到一定作用，但叶片数量增加后，动平衡不容易找，如找正不好，会引起东莞真空泵电机振动增加。

(1)将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W，转速1489r/min，旋片真空泵供应商，电压380V。原风扇继续保留。轴流风机另设一路电源控制，轴流风机与主电机不设连锁。真空泵启动后及时启动轴流风机运行，真空泵停运后30min停运轴流风机，以使主电机得到充分冷却；

(2)定期清除电机上灰尘，保持电机散热片清洁，单旋片真空泵哪家好，增加其散热能力；

(3)将真空泵所在母线电压调整为400V

真空泵应先开动水环泵

真空泵罗茨泵机组中无旁通阀时，应先开动水环泵，被抽系统中的气体由罗茨泵（气体推进罗茨泵转子自行转动，好像流量计普通）进入水环泵后再排至大气，待水环泵的吸入压力（如串联有大气泵，则为大气泵的吸入压力）到达罗茨泵的起初规则值时（即允许排气压力），始启动罗茨泵，机组正式运转，开端工作。东莞真空泵罗茨泵机组中有旁通阀时，如上图所示，先启动水环泵，接着开动罗茨泵，此时，罗茨泵进排气压差较大，旁通阀自动开启，被抽容器中的气体一局部经过旁通阀进入水环泵，另一局部在罗茨泵的作用下经过该泵也进入水环泵，显然抽气速率增加，这样很快到达罗茨泵的预真空，真空泵，进排气压差较小，阀门自动关闭（或人工关闭），机组正式工作。这种办法能大大缩短预抽时间，但设备较复杂。

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