真空泵的使用范围

由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。

表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强

真空泵种类 工作压强范围（Pa） 起动压强（Pa）

活塞式真空泵 1×100000～1.3×100 1×100000

旋片式真空泵 1×100000—6.7×0.1 1×100000

水环式真空泵 1×100000—2.7×1000 1×100000

罗茨真空泵 1.3×1000—1.3 1.3×1000

涡轮分子泵 1.3—1.3×0.00005 1.3

水蒸气喷射泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000

油扩散泵 1.3×0.01—1.3×0.0000001 1.3×10

油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×0.01 lt;1.3×100000

分子筛吸附泵 1×100000—1.3×0.1 1×100000

溅射离子泵 1.3×0.001—1.3×0.000000001 6.7×0.1

钛升华泵 1.3×0.01—1.3×0.000000001 1.3×0.01

锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×0.00000000001 1.3×10

低温泵 1.3—1.3×0.00000000001 1.3—1.3×0.1

如何选用真空泵

1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

2、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

3、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。在真空系统中，这种泵可单独使用，或作为增压泵、扩散泵等的前级泵。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵;如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，也能达到清洁真空要求。

6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。

9、真空泵的价格、运转及维修费用。