无油真空泵近年来解决了不少科学研究和新材料、半导体行业的技术手段存在的基础、共性问题，国内很多企业也启动了基础、应用研究及小规模的试制无油真空泵的探索，在不同研发阶段上显示了产业结构调整的规划，如在基础技术、激励机制、技术推广、市场开拓规划的调整等，这些举措都为铺展市场做好了基础。（7）有效的汽蚀余量（装置汽蚀余量）NPSHa：由买方根据该泵装置（液体在额定流量和正常抽送温度下）确定的气蚀余量。

无油涡旋真空泵不仅解决了污染、振动等基础性、共性问题，还使系统制造与运行成本降低。在生物制品与半导体行业中，如果应用普通旋片油泵，会产生有油蒸汽污染与工艺系统返油问题，而无油涡旋真空泵就避免了这些问题的出现。为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子，还要在系统运行中，定期清洗除油，增加了成本运行。因此，无油涡旋真空泵确实具有未来深广的发展前景，是着重商业化的对象。真空泵在真空中蒸发镍铬磁带、磁盘、半导体激光器，约瑟夫逊器件、电荷耦合器件（CCD）也都甬道各种薄膜。

国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的真空环境，无油真空泵的研发不仅推动了应用产业的整体素质，还为我国其他清洁真空获得设备提供了有效地借鉴，带动了整个真空获得行业的创新能力和技术标准。

水环真空泵及压缩机，是江阴苏一真空设备有限公司在多年科研成果和生产经验的基础上，结合国际同类产品***技术，研制开发的节能产品。通常用于抽吸不含固体颗粒，不溶于水，无腐蚀性的气体，以便在密闭容器中形成真空和压力。通过改变结果材料，亦可用于抽吸腐蚀气体或以腐蚀性液体做工作液。广泛用于造纸、化工、石化、轻工、制药、食品、冶金、建材、石器、洗煤、选矿、化肥等行业。　本系列泵采用单级单作用的结构形式，具有结构简单，维修方便，运行可靠，节能的优点，并能适应排水量大，载荷冲击波动等恶劣工况。　我们对于关键部位，如分配板，叶轮和泵轴进行了系统优化设计，简化了结构，提高了性能，实现节能，采用焊接叶轮，叶片一次冲压、成型，型线合理；真空泵性能***的一些方法虽然机械真空泵发生的故障是多种多样的，但绝大多数故障却是可以排除的。论彀全部加工，从根本上解决了动平衡问题。叶轮与泵轴采用热装过盈配合，性能可靠，运转平稳。叶轮焊接后，整体运行良好的热处理，叶片具有良好的韧性，使叶片的抗冲击，抗折弯能力得以根本保证，能适应载荷冲击波动的恶劣工况。　自带气水分离器，多位置没有排气口，泵盖设有排气阀检修窗口，叶轮与分配板间隙通过***轴两端压盖调整，安装使用方便，操作简单，便于维修。

东莞真空泵维修案例之真空泵异常跳动

当真空泵停机用手电筒进行油位观察时，发现真空泵油内部有闪闪发光的金属粉末状铁屑，说明真空泵内部零部件已经出现磨损，需要进行真空泵维修更换。因为真空泵内部出现磨损，管路内部、油分、汽化器等部件内部残留有金属粉末，为了避免真空泵维修后这些残留杂质再次伤害到泵头本身，因此必须更换掉油分，油滤，真空泵油等耗材。　　原因查找：该真空泵为可拆检式，进行拆检时，检查压缩机的动静涡盘、滑块无磨损，在拆检至电机的上、下轴承时，发现轴承的圆锥滚子表面出现凹凸不平的坑，把拆检下的轴承送至电机检修部门进行检查，给出的答复是轴承已经磨损，建议更换，故判断压缩机异响是因为轴承轻微磨损造成的。有时，一台新的真空泵，对某些生产应用来说，仍觉其极限真空度不够高，维修工作者也可尽可能设法将其改进一些。

真空泵维护要注意的事项 维修中,应注意下述几点:

①该泵制造精度较高,不是非常必要则不必拆开,以检修不当,降低精度。当然维修工作者应当提高自己的技术水平,在该泵技术性能变差时,应及时修理,能定期(一年)检修。

②检修时,将泵从真空系统拆下后,开始检查试抽,确认必须拆泵修理时,可按下列步骤进行:取去护罩,拆下三角皮带及大皮带、排气筒,松开各进气嘴处的压盖,把油放干净后,拆去箱盖和油密封室,取出主轴(不必拆断链条),然后抬出左右机座