由于派瑞林是气相沉积,它可涂覆于极细微的空间和孔隙。由于其分子级聚合作用,即一次一个分子附着于沉积表面,派瑞林涂层超薄,不会形成气孔,并能敷形涂布于元件上。派瑞林还能满足微小尺寸和极轻重量的装置的严格要求。任何用来保护微型装置的材料都不得影响其体积或重量。派瑞林不会显著增加质量——这对微型植入装置来说是非常关键的一个优势。
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东莞菱威纳米科技有限公司为广大客户提供硅橡胶表面处理。用Parylene涂敷很薄的聚酯发生器薄膜和装在气体罩内的橡胶环形密封圈,保护它们来抵御化学溶剂和清洗材料的腐蚀。恶劣环境下的硅橡胶键盘等硅胶制品进行Parylene涂敷来增加印刷的耐久力并改善其抵御化湿侵袭的能力。现在越来越多的民品橡胶类密封件也开始大量采用Parylene涂层进行表面润滑处理。Parylene喷涂可以达到的防化学物、防潮、绝缘及防电子阻隔性能、耐用且附着良好、抗酸碱潮湿等防护处理。
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Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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