前真空涂敷技术中应用广泛的是聚对技术,聚对技术是一种敷形的对聚合物固体涂层材料,聚对真空涂敷过程是在分子状态下进行的,固态的化合物在真空状态下被汽化,汽化的气体再进行分子化,二聚物在高温分解区,分解为两个二价基单聚物。
单聚物分子进入涂敷设备的沉积仓,在仓内的各个表面上重新聚合成长链的高聚物。然后在沉积腔中进行沉积涂敷。整个涂敷过程中,保证汽化分子均匀一致地涂敷到部件的表面上。
Parylene在可见光的范围内吸取得很少,因此是透明无色的。无色透明的薄膜可用于光学器件、可擦性光电储存器件和静电复印器件。在低于280微米时,ParyleneN和ParyleneC的吸取都很强。所有的Paryleng在至少60微米的波长下都相对没有特征(除了一些峰值特征以外)。
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Parylene应用领域 因具有以上优势,Parylene已经广泛被应用到各个领域: 光电材料——电路、电路组件和元器件、微电子机械系统(MEMS)、传感器以及光纤光缆接头密封件:微米级涂层能对印制电路组件的表面提供非常可靠的防护,既不会对基材形成伤害,而且有利于元器件散热;磁性材料:它能对小型超小型磁材进行无薄弱点全涂敷的磁材可浸盐酸10天以上不腐蚀,目前国际上小型超小型磁材,几乎都采用Parylene作绝缘和防护涂层;生物领域:Parylene符合ISO-10993生物试验要求、FDA G95-1、(RoHS)2002/95/EC,不仅电性能和防护性能好,而且具有生物兼容性和生物稳定性,***无副产物,而且可以进行常规消。
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