Parylene 【派瑞林】是一种保护性高分子材料,中文名,聚对,派瑞林它可在真空下气相沉积,Parylene【派瑞林】活性分子的良好穿透力能在元件内部、底部,周围形成无,厚度均匀的透明绝缘涂层,给元件提供一个完整的优 质防护涂层,抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害,因为Parylene不是液体,所以涂敷过程中不会聚集,桥接式形成弯月面。
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用ParyleneC涂敷的钢板,在–160℃的液氮中冷却,在Gardner落体试验中可以承受超过100in-lb的冲击。相比之下,室温下为250in-lb。无支持的0.002英寸的ParyleneC薄膜在–165℃下可以弯折180°6次才失效。相比胶而言,聚乙烯、聚氨酯和聚四氟乙烯分别为3次、2次和1次。从2°(–271℃)到室温环境的过程对电气和物理性能都没有影响。对于ParyleneC的厚度从0.002英寸到0.0001英寸的测试效果如表2.很故意思的是,即使对于特别很是薄的涂层(0.0001英寸),绝缘阻抗值也比规定的规格高出一个数量级。
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Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。
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