a、初级反应:在非平衡等离子体中,电子与反应气体发生反应,反应气体发生分解,形成离子和活性基团的混合物;
b、次级反应:活性基团向薄膜生长表面和管壁扩散输运,同时各反应物间发生反应;
c、反应:初级与次级反应产物被吸附并与表面发生反应,同时有气相分子物放出。
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的主要优点是沉积温度低,对基体的结构和物理性质影响小;膜的厚度及成分均匀性好;膜***致密、少;膜层的附着力强;应用范围广,可制备各种金属膜、非晶无机膜和有机膜。尽管有许多优点,但仍存在不足,一是经济成本,惠州派瑞林镀膜加工,二是技术成熟度。在技术上,等离子体增强化学气相沉积无论是反应装置还是工艺都有待改进和完善。
微电子机械系统(MEMS):Parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就能耐1000V以上直流击穿电压,又 是摩擦系数很低的一种自润滑材料,化学惰性和阻隔性能也好,惠州派瑞林防潮镀膜,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
传感器:Parylene在传感器领域中的应用,除了作绝缘介质外,更多用作防护材料,它能耐酸、碱和,对水汽和盐雾等恶劣环境有的阻隔防护能力,用极薄的涂层提供良好的防护。
基于结构防水设计的灯具,需紧密配合硅胶密封圈防水,外壳结构比较精密和复杂,通常适用于尺寸较大的灯具,譬如条形泛光灯、方形和圆形投光灯等中、大功率灯具。
结构防水灯具仅做纯机械结构组装,派瑞林,使用工具简单,装配工序和流程少,总装周期短,生产线上返修方便快捷。灯具通过电性能及防水测试,即可包装发货,适用于供货周期短的工程项目。
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