派瑞林加工常用指南“本信息长期有效”
作者:菱威纳米2020/4/29 19:54:25





Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。


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Parylene派瑞林纳米涂层广泛用于航空航天、电路板、LED、磁性材料、传感器、硅橡胶、密封件、、珍贵档案等领域;经派瑞林涂层后的产品具有极高的绝缘强度和耐高低温、抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、防锈、防水、防霉菌、防反吸、防黏附、抗老化、生物相容性等作用;



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