自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器,用很薄的Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性。可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各种传感器,使用环境包括淡水、海水、炼油厂、化工厂、血液和体液以及辐射环境等。由于很薄的Parylene薄膜涂层就能对器件提供有效防护,对传感器的灵敏度影响很小。
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前真空涂敷技术中应用广泛的是聚对技术,聚对技术是一种敷形的对聚合物固体涂层材料,聚对真空涂敷过程是在分子状态下进行的,固态的化合物在真空状态下被汽化,汽化的气体再进行分子化,二聚物在高温分解区,分解为两个二价基单聚物。
单聚物分子进入涂敷设备的沉积仓,在仓内的各个表面上重新聚合成长链的高聚物。然后在沉积腔中进行沉积涂敷。整个涂敷过程中,保证汽化分子均匀一致地涂敷到部件的表面上。
Parylene薄膜具有厚度均匀、致密无、透明无应力、优异的电绝缘性和防护性等特点,可应用在光电材料、磁性材料、服装及保护等领域,因其生物兼容性和生物稳定性,还可以应用在***领域。然而,需要注意的是,Parylene涂覆对于材料表面的要求比较高,要求附着力好,无杂质,因此在进行涂覆前,必须对物件的表面进行一定预处理,以增加涂覆物件的附着力。
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