Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似，而且所制备Parylene涂层介电常数也低，还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图，进行再金属化，因此Parylene不仅可用作防护材料，而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用，经Parylene涂敷过的集成电路芯片，其25um细直径连接线，连接强度可提高5-10倍。

Parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就能耐1000V以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。

东莞菱威纳米科技有限公司为广大客户提供硅橡胶表面处理。用Parylene涂敷很薄的聚酯发生器薄膜和装在气体罩内的橡胶环形密封圈，保护它们来抵御化学溶剂和清洗材料的腐蚀。恶劣环境下的硅橡胶键盘等硅胶制品进行Parylene涂敷来增加印刷的耐久力并改善其抵御化湿侵袭的能力。现在越来越多的民品橡胶类密封件也开始大量采用Parylene涂层进行表面润滑处理。Parylene喷涂可以达到***的防化学物、防潮、绝缘及防电子阻隔性能、耐用且附着良好、抗酸碱潮湿等防护处理。

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