Parylene镀膜设备-菱威纳米-Parylene
作者:菱威纳米2020/3/12 12:07:00





介电性能是研究聚合物在外加交流电压时电能的储存和损耗现象。高分子的介电性能与高分子的动态力学行为很相似,它反映了在正弦交变电场作用下偶极子的运动。在许多情况下,它也是与大分子链段运动有关的一个松弛过程。当极性高分子电解质置于两个电极的极板之间时,在外电场作用下,极性分子中的偶极子向相反的电极方向排列,Parylene镀膜设备,产生取向极化或偶极极化。从宏观角度来讨论影响极化的因素,并用一宏观的物理量即介电常数(。)来衡量极化的程度,极化越大,介电常数越高。

对该条件下制备的薄膜进行了形貌表征,如图3所示。从图3中所制备薄膜的扫描电镜二维图片可以看出Parylene F薄膜致密无孔,具有非常均匀的显微结构。原子力显微镜三维形貌图片表明薄膜凹凸尺寸在纳米级范围,且薄膜由锥状晶体颗粒密排堆积而成。微观形貌分析结果表明该条件下所制备薄膜致密均匀,这对其高阻隔性能十分有利。


沉积过程分为三步:

1.真空条件下, 以120℃将固态粉末状的对的二聚物 (di-para-xylylene; dimer) 加热汽化;

2.以650℃ 将气态的对的二聚物 ,裂解为对 (para-xylylene) 的 活性单体(monomer);

3.气态活性单体在室温下沉积并聚合成聚对 (Poly-para-xylylene )的薄膜。

气态单体进入沉积腔室,首先弥漫在工件表面,当吸附到各个表面后开始聚合和结晶,直接形成固体,避免了液相的出现,清除了厚度的不均匀和涂层的缺陷。(应用LED行业、电子行业、、印刷电路板、微电子、磁性行业、半导体、橡塑产品、保护、特殊领域)工能:绝缘强和耐高温,抗腐蚀、耐酸碱、润滑、防尘、防潮、透明、防水、抗老化。




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