手机纳米膜真空设备系统的简单介绍

　　(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

　　(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

　　(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，真空镀膜厂家，就是粗油泵。

　　(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，河源真空镀膜，就是维持泵。

聚对 (Poly-para-xylylene ； 简称 parylene)是一种高分子聚合物，在中国又称为'派瑞林'。

是六十年代中期美国Union Carbide Co. 开发应用的一种新型涂层材料，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。

Parylene 沈积可以经由活泼的单体(monomer)气体，聚合於物体表面上，不同於一般由液体涂层的方法制备。Parylene是以活性分子在真空的条件下於物件表面聚合一层完全披覆的薄膜，可涂装到任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角、隙缝内部与极细微的中，真空镀膜公司，膜厚可一致性的被覆在产品的任何部位，薄膜厚度由0.001mm-0.05mm，是世界薄的涂装之一。

由於Parylene 具有许多良好的功能特色，例如镀膜环境为室温(镀膜後无残留应力的发生)、可精密的控制沈积薄膜厚度与均匀性、抗酸抗硷、介电特性良好、无色高透明度等，因此被广泛应用於印刷电路板之电性隔绝、感测器或仪器的防潮保护、以及金属镀膜的防蚀等。室温镀膜的特性使parylene 成为可配搭光阻牺牲层的结构镀膜材料。

耐摩擦磨损

一定程度的耐摩擦磨损及具有防腐蚀耐酸硷功能。

适用於工业环境有化学气体条件下的电子产品按键，防止印刷标示被磨损以及硅橡胶遭化学物质***，导致硅橡胶变形影响功能。

涂层致密光滑

硅橡胶经 Parylene 涂敷後，接触或密合於玻璃或镜面电镀层时不会留下印记及伤害物件表面。

适用於工业设备部件硅橡胶吸嘴、吸盘 ....等以及晶圆制程的载具。

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