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作者:菱威纳米2020/1/9 21:02:20





Parylene【派瑞林】可增强线路的嵌接、消除临界表面上的潮湿气、金属离子和其它污染物。涂层中不改变电阻、电热偶和其它元件的功能。Parylene【派瑞林】可保护控制工程线路中的敏感元件。


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由于派瑞林是气相沉积,它可涂覆于极细微的空间和孔隙。由于其分子级聚合作用,即一次一个分子附着于沉积表面,派瑞林涂层超薄,不会形成气孔,并能敷形涂布于元件上。派瑞林还能满足微小尺寸和极轻重量的装置的严格要求。任何用来保护微型装置的材料都不得影响其体积或重量。派瑞林不会显著增加质量——这对微型植入装置来说是非常关键的一个优势。



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Parylene的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的Parylene涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,电子玩具派瑞林镀膜,进行再金属化,因此Parylene不仅可用作防护材料,而且也能作为结构层中的介电材料和掩膜材料使用,经Parylene涂敷过的集成电路芯片,其25um细直径连接线,连接强度可提高5-10倍。


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