广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。产品还有腐蚀标牌，不锈钢直尺加工、铝铭牌制作、不锈钢铭牌制作、机械设备控制面板、亚克力标牌等。因此Pla***a被用在半导体，LCD行业中Etching的工艺中，多用在硅和硅的化合物（SiNx、SiOx等）的蚀刻工艺，随着设备的改进，也可用于金属铝的蚀刻。制作工艺：UV印刷、喷漆、丝印、热转印、凹凸，冲压、磨光、拉丝、电镀、氧化、喷砂、激光、注塑、磨光、电铸、腐蚀等一体化的大型***标牌加工制作厂。

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本实用新型涉及干法刻蚀技术，特别涉及一种干法刻蚀设备。

技术背景 图I为现有干法刻蚀设备的结构示意图，如图I所示，干法刻蚀设备包括反应腔(Chamber) 5,设置于反应腔(Chamber) 5上的垫板4、以及设置于反应腔(Chamber) 5中的挡光板I。现有的干法刻蚀设备在对玻璃(Glass)基板进行刻蚀的工艺中，由于设备的上部电极结构复杂以及设备老化等原因，经常会出现垫板4断裂以及其他零部件损坏而导致反应腔(Chamber) 5真空***(Leak)的现象，由此，大气会进入反应腔(Chamber) 5内部,大气中的氮气等与反应腔(Chamber) 5内的气体混合,混合后气体颜色会由蓝色变成红色或***，出现颜色异常。通常会使用上下两对毛刷，利用毛刷旋转的力，将玻璃基板表面附着力较强的污垢去除。现有结构无法对等离子体(Pla***a)颜色进行监控，导致在后工序才能发现，这会严重影响良品率。

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在集成电路制造工艺中,刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅表面去除不需要的材料,在硅片上所需图形的后图形转移的工艺步骤。干法蚀刻和湿法蚀刻是半导体制造中两种基本的刻蚀工艺。干法蚀刻各向异性可以实现细微图形的转换,满足越来越小的尺寸要求,已成为亚微米及以下尺寸主要的蚀刻方式。腐蚀是指材料与所处环境介质之间发生作用而引起材料的变质和***。在实际生产中,公司追求产能和良率。就二氧化硅的干法蚀刻而言,需要优化诸如蚀刻速率、均匀性、选择比等蚀刻参数。因在蚀刻过程中,刻蚀的理想条件经常漂移,工艺工程师不仅需设定优化蚀刻效果的蚀刻菜单,还需在理想条件漂移时及时做出调整。本文选取了影响蚀刻效果的主要工艺参数,如射频、压力、蚀刻气体等做正交试验,确定其具体的影响程度,为参数设置和调节提供依据。

广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。产品还有腐蚀标牌，不锈钢直尺加工、铝铭牌制作、不锈钢铭牌制作、机械设备控制面板、亚克力标牌等。其各组成单元如下：剥离进程单元对经过预湿处理的基板，将剥离液喷射在它的表面，从完成蚀刻的基板表面除去光阻。制作工艺：UV印刷、喷漆、丝印、热转印、凹凸，冲压、磨光、拉丝、电镀、氧化、喷砂、激光、注塑、磨光、电铸、腐蚀等一体化的大型***标牌加工制作厂。

蚀刻是制造薄膜晶体管液晶显示装置(ThinFirm Transistor Liquid Crystal Display，TFT_LCD)阵列基板过程中的一个重要制程。现在我们对它的要求也变得越来越高了，不仅仅是在刚度和强度上面满足我们的需要，还有就是在观赏性上面对其进行要求，所以就出现了不锈钢蚀刻板这个材料。蚀刻工艺根据蚀刻剂的物理状态分为干蚀刻工艺和湿蚀刻工艺，干蚀刻工艺利用蚀刻气体进行蚀刻，湿蚀刻工艺利用蚀刻液体进行蚀刻。

现有的干蚀刻装置通常包括:真空腔(未图示)、设于所述真空腔内的上电极板(未图示)、与上电极板相对间隔设置的下电极板1、位于所述下电极板I下方用于承载下电极板I的绝缘板2、设于所述下电极板I上的静电吸附平台3、位于上、下电极板I之间的等离子体(Pla***a)真空放电区(未图示)、及与上、下电极板相连的电源(未图示)，利用等离子体真空放电区内的高压电场互相作用所产生的等离子体来对设于静电吸附平台3上的晶元或玻璃基板4进行蚀刻。北京的桥正在进行的外涂层防护，约100万平方米，一次就花费几千万元。

干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时，它具备两个特点:一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的。盥洗室内溅出的尿液，尿液可能通过外部管道进入波导、舱底天线或其他设备。现有技术中，高速率干法刻蚀所用等离子激发手段主要为I***(Impressed Current CathodicProtect 1n，外加电流阴极保护)，若要想进一步提高刻蚀速率，一般来说可以通过提高等离子体激励源频率来获得更高的等离子体截止密度，达到提高刻蚀速率的目的。但提高激励源频率会导致电极表面驻波等问题，导致刻蚀速率不均匀，无法大面积均匀刻蚀。

广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，不锈钢面板加工，铝面板加工，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。在工作过程中，毛刷会保持一定的压入量，即玻璃基扳会压入刷毛内一定量，随着刷毛的高速旋转，再伴随着清洗剂的清洗，可以很好的去除大颗粒的Particle。

有色和黑色金属铸造件，在铸造过程中，易产生气孔，缩孔和疏松等缺陷。这些微小的孔洞，如果臂厚防线连通起来，铸件在受气压或液压作用时会形成***，导致产品报废。浸渗工艺是解决上述难题行之有效的方法。

　　适用于：铝合金、锌合金、铜合金、铸铁件、铸钢件等漏汽、漏水、漏油的浸渗。

　　典型的浸渗铸件如发动机缸体、缸盖、进汽歧管、油泵、油嘴、水泵、阀盖、铸造油底壳、化油器壳体、变速箱壳体、铸铁平板、曲轴箱、压缩机、ABS控制器、动力转向器、汽车轮毂、燃油泵、控制阀、液压阀、过滤器、油缸、汽缸、液压泵、冷却泵、密闭的飞机仪器及电子仪器护罩、气制动零件和各种气体仪表等。基于以上考虑,本文选取使用效果较好的环氧富锌漆、环氧清水漆及环氧沥青粘结材料,分别进行了粗糙度-粘结力试验和漆膜耐锈蚀试验。

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本工艺采用抗蚀转印油墨，在贴花纸上丝网印制装饰纹，用贴膜法把装饰纹油墨转印到模具上，经干燥修整后，进行化学腐蚀，便在模具上制得凹凸型装饰纹。

工艺流程：

底图制作→照相制版→制丝网版→油墨调配→贴花纸印装饰纹→油墨干燥→模具前处理→贴花转印→干燥→修整→腐蚀→检验→清理、防锈。。

装饰纹模具的工序

底图制作

装饰纹底图除电脑或手工绘制外，多数选用塑料样件和人造革上的装饰纹。

塑料样件应选取花纹清晰、均匀、平整的表面，先喷一层黑色自干漆，晾干后，用200目以上的(碳酸钙)涂抹，填平纹路，再轻轻抹去突出面的白分，使其露出黑色，直至版面花纹清晰，黑白分明，底图便告完成。

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