广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。产品还有腐蚀标牌，不锈钢直尺加工、铝铭牌制作、不锈钢铭牌制作、机械设备控制面板、亚克力标牌等。制作工艺：UV印刷、喷漆、丝印、热转印、凹凸，冲压、磨光、拉丝、电镀、氧化、喷砂、激光、注塑、磨光、电铸、腐蚀等一体化的大型***标牌加工制作厂。相比之下，干蚀刻异向性强，线宽稳定性易于控制，缺点为机台设备及维护费用高，量产速度慢。

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本实用新型涉及干法刻蚀技术，特别涉及一种干法刻蚀设备。

技术背景 图I为现有干法刻蚀设备的结构示意图，如图I所示，干法刻蚀设备包括反应腔(Chamber) 5,设置于反应腔(Chamber) 5上的垫板4、以及设置于反应腔(Chamber) 5中的挡光板I。现有的干法刻蚀设备在对玻璃(Glass)基板进行刻蚀的工艺中，由于设备的上部电极结构复杂以及设备老化等原因，经常会出现垫板4断裂以及其他零部件损坏而导致反应腔(Chamber) 5真空***(Leak)的现象，由此，大气会进入反应腔(Chamber) 5内部,大气中的氮气等与反应腔(Chamber) 5内的气体混合,混合后气体颜色会由蓝色变成红色或***，出现颜色异常。现有结构无法对等离子体(Pla***a)颜色进行监控，导致在后工序才能发现，这会严重影响良品率。同时，环境中的O2分子会在172nm紫外线的照射下解离成为游离的氧原子或者O3分子。

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在集成电路制造工艺中,刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅表面去除不需要的材料,在硅片上所需图形的后图形转移的工艺步骤。干法蚀刻和湿法蚀刻是半导体制造中两种基本的刻蚀工艺。干法蚀刻各向异性可以实现细微图形的转换,满足越来越小的尺寸要求,已成为亚微米及以下尺寸主要的蚀刻方式。在实际生产中,公司追求产能和良率。就二氧化硅的干法蚀刻而言,需要优化诸如蚀刻速率、均匀性、选择比等蚀刻参数。控制系统顶喷式蚀刻减薄设备采用PLC电气控制系统，自动化集成程度较高。因在蚀刻过程中,刻蚀的理想条件经常漂移,工艺工程师不仅需设定优化蚀刻效果的蚀刻菜单,还需在理想条件漂移时及时做出调整。本文选取了影响蚀刻效果的主要工艺参数,如射频、压力、蚀刻气体等做正交试验,确定其具体的影响程度,为参数设置和调节提供依据。

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在金属压力加工中，在外力作用下使金属强行通过模具，金属横截面积被压缩，并获得所要求的横截面积形状和尺寸的技术加工方法称为金属拉丝工艺。使其改变形状、尺寸的工具称为拉丝模。

丝纹类型的好差具有很大的主观性。每个用户对表面线纹的要求不同，对线纹效果的喜好不同。有人会觉得发丝好看，有人却喜欢雪花纹；有人喜欢长丝，有人却喜欢短丝。

线纹效果由于变化多样，通常很难描述和具体界定，而是通过确定拉丝的加工方式，所用的研磨产品，工艺参数等方式来确定拉丝线纹的效果。拉丝处理没有统一的分类和叫法。拉丝可根据装饰需要，制成直纹、乱纹、螺纹、波纹和旋纹等。

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工艺特点

(1) 采用自配油墨，具有抗蚀性好、粘合力强、可自然干燥、转印性能好等优点；

(2) 采用自制球型腐蚀喷头，腐蚀液能喷射成均匀半球面，适合复杂型腔腐蚀，加上型腔朝下，不会堆滞腐蚀液，能获得腐蚀深度均匀、无※角、图纹清晰、高质量的装饰纹；

(3) 工艺方法简单，操作容易，适合大、中、小模具，不受几何形状限制；

(4) 设备简单，材料消耗甚少，主要消耗贴花纸、转印油墨、保护漆，成本低廉，经济效益高。

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