显微镜LED***单元(无掩模***系统)应用:薄膜FET和霍尔效应测量样品的电极形成;从石墨烯/钼原石中剥离电极形成并评估其特性;研发应用的图案形成。
显微镜LED***单元(无掩模***系统)应用:由于显微镜和DLP的结合,可以用很低的成本来构建系统。易于使用的软件可以轻松的创建***图案;通过物镜放大倍率图案,可以进行大范围的批量***;可以连接到您自己的显微镜上(选项);分辨率在微米级。
新闻中强调国产超分辨光刻机能做到与其它***生产的光刻机所使用的光刻路径不同,说明国内项目组突破了生产光刻机所需要的高均匀性照明、超分辨光刻镜头、纳米级分辨力检焦及间隙测量和超精密、多自由度工件台及控制等关键技术,还有结合超分辨光刻装备项目开发的高深宽比刻蚀、多重图形等配套工艺。
我国不仅仅有了独特的光刻技术,还培养出一支超分辨光刻技术和装备研发团队。相信通过这一团队的不断推进,会让我国的光刻技术实现弯道超车。
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