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1、由于设备的不集光，会导至露光面照度低下，这种情况是可以对照底进行控制，调整XYZ轴来修正，使照度达到较好;

2、设备过度冷却，会导至Hg蒸气密度减少，会引起照低下，并且会使照度下降快;